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第366章 突破封锁的武器

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曲卓看了对方的证件,拜托徐组长把一脸担心的乔小雨和小丫头送回去。然后跟着不苟言笑的家伙,上了站外的一辆BJ212。

司机看着眼熟,好像是四机部小车班的,不过没打过交道。上车后曲卓冲对方点头打招呼,司机拘谨的回应后,瞄了眼副驾驶不苟言笑的家伙,默不作声的发动引擎。

曲卓愈发紧张了,为了掩饰内心的不安,做出一副困倦的模样,窝在后座闭眼休息。

心里琢磨着,欺上瞒下的事干的有点多,不会是哪儿露出什么马脚了吧?

虽然心里没底,但不算慌。

曲卓自问给内陆带来的好处是实实在在的。就算被发现了什么纰漏,也绝对算不上罪过。

比较麻烦的是,一些问题不好解释,甚至是压根就没法解释。

闭着眼把能想到的可能都琢磨了一遍,实在摸不着头脑,索性破罐子破摔,放空大脑小眯了一觉。

恍惚间感觉车减速了。睁开眼一看,不是对方证件上的部门,也不是某个神秘的地方。周围的景象怎么有点眼熟呢?

居然到了878厂!

212进了878的大门,绕过主楼停在厂区西北角的一栋红砖小楼外。

曲卓开门下车时,姜秘书从小楼里出来。乐呵的说:“原本首长的行程安排在昨天。得知你今天回来,特意做了调整。”

“什么事呀?”曲卓问。

“啊?”姜秘书纳闷了一下,意外的问:“你不知道?”

“我知道什么呀?”曲卓示意留在212里的不苟言笑:“我刚下火车,那货就让我跟他走。什么都没说。”

“嗨~”姜秘书顺着曲卓的视线看了一眼,有些哭笑不得的解释:“刚从部队上下来,还不太适应新的工作环境。”

“……”曲卓一阵无语。

问了一嘴才知道,不苟言笑的家伙姓罗,是安全部门新派到四机部的驻点安全员。

虽然平时在四机部上班,但证件上的单位还是所属部门。

明天有一场级别挺高的会,各地的与会人员今天陆续抵京,火车站安全检查比平时严格了不少。

之前估算时间Z36快到了,黎部长考虑到小罗同志的证件进出站比较方便,就派他去接曲卓。

结果,那货全程耷拉着死人脸,害得某人白紧张了一通……

红专楼从外面看着,是栋两层小楼,实际上里面只有一层。穿过一间很小的风净室,随后一间更小的更衣室里换上防静电鞋,姜秘书带着曲卓进到一条带三面大观察窗的廊道。

廊道里站了十多个人,有黎部长和四机部几位领导,半导体研究所的黄所长和大王先生,还有878的徐厂长和张总工。

剩下的几位也都是熟脸,有清华精密仪器系的、光电所的,还有45所的人。

见曲卓进来,黎部长笑着说道:“嗯~我们的大功臣回来了。”

“嘿~”曲卓憨笑,连鞠躬带行礼的挨个问好,抽空瞄了眼观察窗里面……一台占地大约十五个平方,卧式分体布局的设备。

设备是全包裹设计,但通过有典型特征的操作台,曲卓分辨出应该是一台,不,应该说是一套光刻机。

不用猜,肯定是用Micralign100的核心部件装配出来的。

事实上,这台被暂时命名为77-1的投影式光刻机,七月初就试车成功了。

经过半个多月的测试,三微米工艺良品率百分之十七点二,六微米工艺良品率百分之五十七点六,十微米良品率达到惊人的百分之八十七点八。

虽然不足百分之九十的良品率,在后世看来并不算高,但就眼下来说,已经可以跻身国际先进水平了。

“厉害呀~”曲卓听完张总工兴致勃勃的讲解,发出了由衷的感慨。

事实再次证明,起码现阶段,我们的设计能力是绝对没有问题的。

设计组并没有复刻曲卓提供的图纸,而是对Micralign100的核心组件稍加修改和调整,重新设计了光刻机的整体结构。从原本的柜式一体设计,变成了现在的卧式分体布局。

从结果上看,加工效率比原本设计要略低一些,功耗也略大了一些。但良品率明显提高,耗材损耗也有所下降。综合性能绝对超越了Micralign100。

而且,关键点不在于性能上超越了Micralign100多少,而在于有这台设备在手,我们就有了突破封锁的“武器”。

上面的计划是,下个月对外公布这款达到世界一流水平的“自研”光刻机。

等十月份,同型号第二台设备在沪市五厂投入使用。十二月底至明年一月,第三台设备在871厂投入使用。

如此一来,外界就能得出判断,我们大约三到四个月,就能加工出一套光刻机使用的核心部件。

这说明什么?

说明我们已经掌握了,相关的一系列精密加工,以及配套的光源、数控等关键技术。

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